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3632040100光学光刻设备
3632040200电子束光刻机
3632040300离子束投影光刻机
3632040400邻近X射线光刻机
3632040500蚀刻设备
3632040600掺杂设备
3632040700退火设备
3632040800快速热处理设备
3632040900薄膜生长设备
3632041000化学气相淀积设备
3632041100中测设备
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