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3506030200超声波加工机床
35060303放电加工机床
3506030400干法蚀刻半导体材料加工机床
3506030500化学、电化学（电解）加工机床
3506030600离子束加工机床
3506030700电子束加工机床
3506030800快速成形加工机床
3506030900高压水射流加工机床
3506039900其他特种加工机床
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